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  洁净室的常识
 

一、洁净室之界说
  
  洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
  是指将肯定空间范围内之氛围中的微粒子、有害氛围、细菌等之污染物扫除,并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速度取气流散布、乐音振动及照明、静电掌握正在某一需求范围内,而所赐与稀奇设想之房间。亦即是岂论外在之氛围前提如何转变,其室内均能俱有保持本来所设定要求之清洁度、温湿度及压力等机能之特性。
  二、洁净室感化
  
  洁净室最主要之感化在于掌握产物(如硅芯片等)所打仗之大气的清洁度日及温湿度,使产物能正在一个优越之情况空间中消费、制造。
  三、洁净室控管之项目
  
  1. 能撤除氛围中飘游之微尘粒子。
  
  2. 能防备微尘粒子之发生。
  
  3. 温度和湿度之掌握。
  
  4. 压力之调治。
  
  5. 有害气体之扫除。
  6. 构造物取隔间之气密性。
  7. 静电之防造。
  8. 电磁滋扰防备。
  
  9. 平安身分之思索。
  
  10. 节能之考量。
  四、洁净室之分类
  1.乱流式(Turbulent Flow):
  
  氛围由空调箱经风管取清洁室内之氛围过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或下架地板回风。气流非曲线型活动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室品级1,000-100,000级。
  
  长处:组织简朴、体系制作本钱,洁净室之扩大对照轻易,正在某些特别用处场合,可并用无尘工作台,进步洁净室品级。
  
  瑕玷:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不容易排挤,易净化造程产物。别的若体系住手运转再激活,欲达需求之清洁度,每每须耗时相称少一段时间。
  2.层流式(Laminar):
  
  层流式氛围气流活动成一匀称之曲线形,氛围由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由下架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室品级需定较高之情况运用,一样平常其洁净室品级为Class 1~100。其型式可分为二种:
  
  (1)程度层流式:程度式氛围自过滤器双方背吹出,由对边墙壁之回风体系回风,灰尘随风向排挤室外,一样平常正在下游侧净化较严峻。
  
  长处:组织简朴,运转后短时间内便可酿成稳固。
  
  瑕玷:制作用度比乱流式下,室内空间不容易扩大。
  
  (2)垂直层流式:房间天花板完整以ULPA过滤器掩盖,氛围由上往下吹,可得较下之清洁度,正在制程中或工作人员所发生的灰尘可快速排挤室外而不会影响别的事情地区。
  
  长处:管理轻易,运转最先短时间内便可达稳固状况,不容易为功课状况或功课职员所影响。
  
  瑕玷:组织用度较下,弹性应用空间难题,天花板之吊架相称占空间,维修改换过滤器较贫苦。
  3.复合式(Mixed Type):
  
  复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可供应部分超清洁之氛围。
  
  (1)清洁地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程地区或事情地区100%掩盖使清洁度品级进步至10级以上,可节约安装运转用度。
  此型式需将功课职员之事情区取产物和机械维修予以断绝,以制止机械维修时影响了事情及品格,ULSI造程多数接纳此种型式。
  
  清洁地道另有二项长处:A.弹性扩大轻易; B.维修装备时可正在维修区随意马虎实行。
  
  (2)清洁管道(Clean Tube):将产物流程经由的自动生产线围困并净化处置惩罚,将清洁度品级提至100级以上。果产物和功课员及发尘情况互相断绝,少许之送风便可获得优越之清洁度,可节省能源,不需野生的自动化生产线为最相宜运用。药品、食物业界及半导体业界均实用。
  
  (3)并装部分洁净室(Clean Spot):将洁净室品级10,000~100,000之乱流清洁室内之产物制程区的清洁度品级进步为10~1000级以上,认为消费之用;清洁工作台、清洁事情棚、清洁风柜即属此类。
  
  清洁工作台:品级Class 1~100级。
  
  清洁事情棚:为正在乱流式之洁净室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间,接纳自力之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较初级之清洁空间,其品级为10~1000级,高度正在2.5米阁下,掩盖面积约10m2以下,四收支柱并加装运动轮,可为弹性应用。
  五、洁净室之组成
  
  洁净室的组成是由以下各项体系所构成(正在所构成的体系份子中是缺一不可的),不然将没法组成一完好且品格优越的洁净室:
  
  (1)天花板体系:包孕吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
  
  (2)空调体系:包孕氛围舱、过滤器体系、风车等。
  
  (3)隔墙板(Partitional wall):包孕窗户、门。
  
  (4)地板:包孕下架地板或防静电舒美地板。
  
  (5)照明用具:包孕日光灯、黄色灯管等。
  
  洁净室之修建主体组织,一样平常是用钢筋或骨水泥,但无论是何种组织,必需知足以下之前提:
  A.不会果温度转变取振动而发作裂缝;
  B.不容易发生微尘粒子,且很易附着粒子;
  C.吸湿性小;
  D.为了保持室内之湿度前提,热绝缘性要下;
  六、洁净室按用处分类(可分为两大类)
  (1)、产业洁净室——以无生命微粒的掌握为工具。重要掌握氛围灰尘微粒对事情工具的净化,内部一样平常连结正压状况。 它适用于周详机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航产业、下纯度化学工业、原子能产业、光磁产物产业(光盘、胶片、磁带消费)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头消费等多行业。
  (2)、生物洁净室,重要掌握有生命微粒(细菌)取无生命微粒(灰尘)对事情工具的净化。又可分为:
  A、一样平常生物洁净室,重要掌握微生物(细菌)工具的净化。同时其内部质料要能禁受种种灭菌剂腐蚀,内部一般保证正压。实质上其内部质料要能禁受种种灭菌处置惩罚的产业洁净室。例:制药产业、病院(手术室、无菌病房)食物、化妆品、饮料产物消费、植物实验室、理化磨练室、血站等。
  B、生物学平安洁净室:重要掌握事情工具的有生命微粒对外界和人的净化。内部要连结取大气的背压。例:细菌学、生物学、清洁实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)

                           

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